https://www.cnews.cz/ https://i.iinfo.cz/cn/rss-88x31.gif 88 31 https://www.cnews.cz/n/litografie/ Cnews.cz - Píšeme o technologiích a internetu cs Sat, 25 Oct 2014 20:01:00 GMT https://www.cnews.cz/clanky/stihne-extremni-ultrafialova-litografie-7nm-cyklus-asml-slibuje-ze-ano/?utm_source=rss&utm_medium=text&utm_campaign=rss Extrémní ultrafialová litografie, zkráceně EUV (Extreme ultraviolet), je dlouho očekávaný nástupce aktuální imerzní litografie se  193nm argon-fluoridovým laserem. Její vlnová délka 13,5 nm je nezbytná pro atakování výrobních procesů hluboko pod 10nm hranicí. redakce@cnews.cz (Cnews.cz: František Urban) Sat, 25 Oct 2014 20:01:00 GMT www.cnews.cz-text-42008